Semiconductor Factory Automation: Technology Issues and Market Forecasts

半導体工場のファクトリーオートメーション：技術課題と市場予測

この調査レポートは半導体工場の自動化を調査し、主要プレイヤ、半導体工場自動化への推進力について分析・解析しています。市場は自動搬送ツール、キャリア輸送、生産実行システム（MES)ソフトウェア、計3つ... もっと見る

出版社	出版年月	電子版価格	言語
The Information Network インフォメーションネットワーク	2021年3月1日	US$4,995 企業ライセンスライセンス・価格情報注文方法はこちら	英語

Table of Contents

Summary

この調査レポートは半導体工場の自動化を調査し、主要プレイヤ、半導体工場自動化への推進力について分析・解析しています。市場は自動搬送ツール、キャリア輸送、生産実行システム（MES)ソフトウェア、計3つに分類しています。

This report addresses these technical issues, presenting an analysis of the semiconductor factory automation industry, the key players, and the driving forces directing semiconductor factory automation. Markets are segmented as: 1. Automated transfer tools (robots, elevators, platforms, etc.), 2. Carrier transport (monorail, AGV, AS/RS, etc.), 3. Manufacturing execution systems (MES) software.

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TABLE OF CONTENTS

Chapter 1 Introduction 1--‐1

Chapter 2 Executive Summary 2--‐1

2.1 Summary of Major Issues 2--‐1
2.2 Summary of Market Forecasts 2--‐4

Chapter 3 Driving Forces 3--‐1

3.1   Introduction   3--‐1
3.2   Trend to 300/450mm Wafers   3--‐3
3.3   Development Costs   3--‐6
3.4   Single--‐Wafer Processing   3--‐7
3.5   Trends in Processing Tools   3--‐8
3.6   Automation Trends   3--‐11
3.7   Benefits of Automated Wafer Handling   3--‐20

Chapter 4 Software 4--‐1

4.1   Introduction   4--‐1
4.2   The Evolution of CIM   4--‐2
4.3   MES in Industry   4--‐5
4.3.1   MES Functionalities   4--‐13
4.3.2   MES Products   4--‐16
4.4   Communication Standards   4--‐38
4.5   Sematech CIM Framework   4--‐45

Chapter 5 Hardware 5--‐1

5.1   Introduction   5--‐1
5.2   Elements of Automation   5--‐7
5.2.1   Tool Automation   5--‐8
5.2.2   Intrabay Automation   5--‐10
5.2.3   Interbay Automation   5--‐12
5.2.4   Material--‐Control System   5--‐15
5.3   Flexible Automation   5--‐17
5.4   Reliability   5--‐19
5.5   Tool Issues and Trends   5--‐20
5.5.1   Flexible Tool Interface   5--‐20
5.5.2   Vacuum Robotics   5--‐39
5.5.3   AGV   5--‐48
5.5.4   Robot Control Systems   6--‐52
5.5.5   300--‐mm Wafer Transport   5--‐53
5.5.6   Mini--‐Environments and Cleanroom Issues   5--‐56
5.6   E--‐Manufacturing   5--‐60

Chapter 6 Market Analysis 6--‐1

6.1   Market Forces   6--‐1
6.2   Market Forecast Assumptions   6--‐16
6.3   Market Forecast   6--‐17
6.3.1   Automated Transfer Tool Market   6--‐17
6.3.2   Carrier Transport Market   6--‐28
6.3.3   MES Software Market   6--‐38

Chapter 7 User Issues 7--‐1

7.1   Current Automation Thinking   7--‐1
7.2   The New Factory Paradigm   7--‐2
7.3   The New Factory in Action   7--‐3
7.4   Return on Investment Considerations   7--‐3
7.5   Eight Symptoms of the Old Paradigm   7--‐5
7.6   Putting the New Paradigm to Work   7--‐6

List of Figures

1.1   Advanced CIM System   1--‐3
3.1   Automated Materials Handling System (AMHS) Framework   3--‐16
4.1   Evolution of CIM   4--‐3
4.2   Computer Integrated Fab Environment   4--‐6
4.3   Message Integration in CIM   4--‐8
4.4   Sematech CIM Framework Scope   4--‐47
5.1   Material--‐Control System   5--‐16
5.2   Traditional and Flexible Automated Material Handling System   5--‐18
5.3   Overhead Monorail Delivery --‐ Cassette in Box, Cassette in SMIF Pod   5--‐23
5.4   Stocker Design and Interfaces   5--‐58
5.5   Layout Of a 45nm 300mm Fab   5--‐64
5.6   Interfaces To Factory Automation Systems   5--‐68
6.1   Semiconductor Equipment Utilization   6--‐7
6.2   Revenue Losses from Wafer Defects   6--‐8
6.3   Market Shares of Atmospheric Robot Suppliers   6--‐25
6.4   Market Shares of Vacuum Robot Suppliers   6--‐26
6.6   Worldwide Market Shares of Carrier Transport Suppliers   6--‐32
6.7   Worldwide Market of Shares MES Software Suppliers   6--‐43

List of Tables

5.1   Evolution Of Factory Metrics   5--‐58
6.1   Three--‐Year Savings for Automation   6--‐10
6.2   Cost of Alternative Automated Systems   6--‐11
6.3   Three--‐year Costs for Alternative Automated Systems   6--‐12
6.4   Worldwide Forecast of Automated Transfer Tools   6--‐20
6.5   Bill Of Materials For Atmospheric Automation Tool   6--‐22
6.6   Bill Of Materials For PVD Vacuum Tool   6--‐23
6.7   Process Tool Automation For 300mm Fabs   6--‐27
6.8   Worldwide Forecast of Carrier Transport Market   6--‐30
6.9   300mm Fab Construction Plans   6--‐34
6.10   Worldwide Forecast of MES Software   6--‐49

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