薄膜蒸着：動向、重要課題、市場分析

Thin Film Deposition: Trends, Key Issues, Market Analysis

この調査レポートは、薄膜蒸着市場における技術動向、製品用途、材料と機器のサプライヤを解説しています。主な掲載内容（目次より抜粋）概説エグゼクティブサマリー物理気相... もっと見る

出版社	出版年月	電子版価格	言語
The Information Network インフォメーションネットワーク	2024年7月2日	US$4,995 企業ライセンスライセンス・価格情報・注文方法はこちら	英語

目次
図表リスト

サマリー

この調査レポートは、薄膜蒸着市場における技術動向、製品用途、材料と機器のサプライヤを解説しています。

主な掲載内容（目次より抜粋）

概説
エグゼクティブサマリー
物理気相 (成長物理蒸着)
1. 概説
2. スパッタリング技術
3. プラズマ技術
4. 反応器設計
5. 半導体加工
6. ターゲット材
化学気相成長 (化学蒸着)
1. 概説
2. 化学気相成長 (化学蒸着)技術
電気化学蒸着
1. 概説
2. 反応器設計
3. 課題
4. 添加剤
5. 処理
6. 銅陰極
7. 湿式銅種層
膜蒸着と被膜特性
1. 概説
2. 誘電体蒸着
  1. 二酸化ケイ素
  2. シリコン窒化物
  3. 高誘電体
  4. 低誘電体
3. 金属蒸着
  1. アルミニウム
  2. タングステン/ケイ化タングステン
  3. 窒化チタン
ベンダ問題
市場予測

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3.1 はじめに 3-1
3.2 スパッタリング技術 3-2
3.3 プラズマ技術 3-5
3.4 リアクターの設計 3-14
3.4.1 ロングスロー蒸着 3-14
3.4.2 平行スパッタ蒸着 3-16
3.4.3 シャワーヘッド蒸着 3-18
3.4.4 イオン化PVD 3-22
3.5 半導体プロセス 3-28
3.5.1 フィーチャーパターニング 3-28
3.5.2 ギャップフィル 3-31
3.6 ターゲット 3-34

第4章化学気相成長 4-1

4.1 はじめに 4-1
4.2 化学的気相成長（CVD）技術 4-1
4.2.1 APCVD 4-1
4.2.2 LPCVD 4-6
4.2.3 PECVD 4-9
4.2.4 HDPCVD 4-13
4.2.5 ALD 4-19

第5章電気化学蒸着 5-1

5.1 はじめに 5-1
5.2 原子炉設計 5-5
5.3 課題 5-6
5.4 添加物 5-8
5.5 処理 5-9
5.5.1 スーパーフィリング 5-9
5.5.2 アスペクト比 5-9
5.6 銅カソード 5-10
5.7 ウェット銅シード層 5-11

第6章成膜とフィルム特性 6-1

6.1 はじめに 6-1
6.2 誘電体蒸着 6-4
6.2.1 二酸化ケイ素 6-5
6.2.1.1 熱CVD 6-5
6.2.1.2 pecvd 6-6
6.2.1.3 HDPCVD 6-9
6.2.2 窒化ケイ素 6-13
6.2.2.1 熱CVD 6-13
6.2.2.2 pecvd 6-14
6.2.2.3 HDPCVD 6-19
6.2.3 高誘電率誘電体 6-19
6.2.4 低誘電率誘電体 6-22
6.3 金属蒸着 6-23
6.3.1 アルミニウム 6-23
6.3.2 タングステン/タングステン・シリサイド 6-26
6.3.3 窒化チタン 6-28

第7章ベンダーの問題 7-1

7.1 はじめに 7-1
7.2 450mm加工 7-6
7.3 統合加工 7-8
7.4 銅 7-11
7.5 測定技術 7-14
7.6 ESD 7-17
7.7 パラメトリック・テスト 7-18

第8章市場予測 8-1

8.1 はじめに 8-1
8.2 主要課題 8-4
8.3 市場予測の前提 8-7
8.4 市場予測 8-8
8.4.1 化学気相成長 8-8
8.4.2 物理蒸着 8-28
8.4.3 銅電気めっき市場 8-32
8.4.4 原子層蒸着市場 8-36

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図表リスト

図表一覧
3.1 スパッタリング装置の概略図 3-3
3.2 マグネトロンスパッタリング設計 3-9
3.3 シャワーヘッドリアクターの設計 3-19
3.4 イオン化PVD 3-24
4.1 APCVDリアクター 4-3
4.2 チューブCVDリアクター 4-7
4.3 HDPCVDリアクター 4-17
4.4 ALD対PVD銅バリア 4-26
5.1 銅電気めっきシステム 5-3
7.1 半導体と装置売上の比較 7-4
8.1 世界の MCVD 市場シェア 8-12
8.2 DCVDの世界市場シェア 8-13
8.3 DCVDの世界市場：セクター別 8-15
8.4 HDHCVDの世界市場シェア 8-18
8.5 PECVDの世界市場シェア 8-21
8.6 SACVDの世界市場シェア 8-24
8.7 LPCVDの世界市場シェア 8-27
8.8 PVDの世界市場シェア 8-31
8.9 ECDの世界市場シェア 8-34
8.10 ALDの世界市場シェア 8-38

テーブル一覧
8.1 世界のCVD市場予測 8-9
8.2 MCVDの世界市場シェア 8-10
8.3 DCVDの世界市場シェア 8-11
8.4 HDPCVDの世界市場展望 8-16
8.5 HDPCVDの世界市場シェア 8-17
8.6 PECVDの世界市場展望 8-19
8.7 PECVD の世界市場シェア 8-20
8.8 SACVD の世界市場展望 8-22
8.9 世界の SACVD 市場シェア 8-23
8.10 LPCVD の世界市場展望 8-25
8.11 世界の LPCVD 市場シェア 8-26
8.12 PVDの世界市場展望 8-29
8.13 PVD の世界市場シェア 8-30
8.14 ECDの世界市場展望 8-33
8.15 ALDの世界市場展望 8-37

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Table of Contents
List of Tables/Graphs

Summary

This report discusses the technology trends, products, applications, and suppliers of materials and equipment. It also gives insight to suppliers for future user needs and should assist them in long range planning, new product development and product improvement. A market forecast for Thin Film Deposition Tools for PVD, LPCVD, PECVD, SACVD, HDPCVD, MOCVD, ALD, is presented. Market shares for each of these sectors is presented.

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Chapter 1 Introduction 1-1

Chapter 2 Executive Summary 2-1

Chapter 3 Physical Vapor Deposition 3-1

3.1 Introduction 3-1
3.2 Sputtering Technology 3-2
3.3 Plasma Technology 3-5
3.4 Reactor Designs 3-14
3.4.1 Long-Throw Deposition 3-14
3.4.2 Collimated Sputter Deposition 3-16
3.4.3 Showerhead Deposition 3-18
3.4.4 Ionized PVD 3-22
3.5 Semiconductor Processing 3-28
3.5.1 Feature Patterning 3-28
3.5.2 Gap Fill 3-31
3.6 Targets 3-34

Chapter 4 Chemical Vapor Deposition 4-1

4.1 Introduction 4-1
4.2 Chemical Vapor Deposition (CVD) Techniques 4-1
4.2.1 APCVD 4-1
4.2.2 LPCVD 4-6
4.2.3 PECVD 4-9
4.2.4 HDPCVD 4-13
4.2.5 ALD 4-19

Chapter 5 Electrochemical Deposition 5-1

5.1 Introduction 5-1
5.2 Reactor Design 5-5
5.3 Challenges 5-6
5.4 Additives 5-8
5.5 Processing 5-9
5.5.1 Superfilling 5-9
5.5.2 Aspect Ratios 5-9
5.6 Copper Cathodes 5-10
5.7 Wet Copper Seed-Layer 5-11

Chapter 6 Film Deposition And Film Properties 6-1

6.1 Introduction 6-1
6.2 Dielectric Deposition 6-4
6.2.1 Silicon Dioxide 6-5
6.2.1.1 Thermal CVD 6-5
6.2.1.2 PECVD 6-6
6.2.1.3 HDPCVD 6-9
6.2.2 Silicon Nitride 6-13
6.2.2.1 Thermal CVD 6-13
6.2.2.2 PECVD 6-14
6.2.2.3 HDPCVD 6-19
6.2.3 High-K Dielectrics 6-19
6.2.4 Low-K Dielectrics 6-22
6.3 Metal Deposition 6-23
6.3.1 Aluminum 6-23
6.3.2 Tungsten/Tungsten Silicide 6-26
6.3.3 Titanium Nitride 6-28

Chapter 7 Vendor Issues 7-1

7.1 Introduction 7-1
7.2 450mm Processing 7-6
7.3 Integrated Processing 7-8
7.4 Copper 7-11
7.5 Metrology 7-14
7.6 ESD 7-17
7.7 Parametric Test 7-18

Chapter 8 Market Forecast 8-1

8.1 Introduction 8-1
8.2 Key Issues 8-4
8.3 Market Forecast Assumptions 8-7
8.4 Market Forecast 8-8
8.4.1 Chemical Vapor Deposition 8-8
8.4.2 Physical Vapor Deposition 8-28
8.4.3 Copper Electroplating Market 8-32
8.4.4 Atomic Layer Deposition Market 8-36

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List of Tables/Graphs

List of Figures
3.1 Schematic Of Sputtering System 3-3
3.2 Magnetron Sputtering Design 3-9
3.3 Showerhead Reactor Design 3-19
3.4 Ionized PVD 3-24
4.1 APCVD Reactor 4-3
4.2 Tube CVD Reactor 4-7
4.3 HDPCVD Reactor 4-17
4.4 ALD Versus PVD Copper Barrier 4-26
5.1 Copper Electroplating System 5-3
7.1 Comparison Between Semiconductor and Equipment Revenues 7-4
8.1 Worldwide MCVD Market Shares 8-12
8.2 Worldwide DCVD Market Shares 8-13
8.3 Worldwide DCVD Market By Sectors 8-15
8.4 Worldwide HDHCVD Market Shares 8-18
8.5 Worldwide PECVD Market Shares 8-21
8.6 Worldwide SACVD Market Shares 8-24
8.7 Worldwide LPCVD Market Shares 8-27
8.8 Worldwide PVD Market Shares 8-31
8.9 Worldwide ECD Market Shares 8-34
8.10 Worldwide ALD Market Shares 8-38

List of Tables
8.1 Worldwide CVD Market Forecast 8-9
8.2 Worldwide MCVD Market Shares 8-10
8.3 Worldwide DCVD Market Shares 8-11
8.4 Worldwide HDPCVD Market Forecast 8-16
8.5 Worldwide HDPCVD Market Shares 8-17
8.6 Worldwide PECVD Market Forecast 8-19
8.7 Worldwide PECVD Market Shares 8-20
8.8 Worldwide SACVD Market Forecast 8-22
8.9 Worldwide SACVD Market Shares 8-23
8.10 Worldwide LPCVD Market Forecast 8-25
8.11 Worldwide LPCVD Market Shares 8-26
8.12 Worldwide PVD Market Forecast 8-29
8.13 Worldwide PVD Market Shares 8-30
8.14 Worldwide ECD Market Forecast 8-33
8.15 Worldwide ALD Market Forecast 8-37

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