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世界の半導体計測・検査装置市場 - 成長、トレンド、COVID-19の影響、および予測(2021年~2026年


Global Semiconductor Metrology and Inspection Equipment Market - Growth, Trends, COVID-19 Impact, and Forecasts (2021 - 2026)

半導体計測・検査装置市場は、2020年には41億6470万米ドルとなり、2021年から2026年の間に、4.76%のCAGRを記録し、2026年には53億7340万米ドルに達すると予測されています COVID-19が世界中で発生したことにより... もっと見る

 

 

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Mordor Intelligence
モードーインテリジェンス
2021年8月1日 US$4,250
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サマリー

半導体計測・検査装置市場は、2020年には41億6470万米ドルとなり、2021年から2026年の間に、4.76%のCAGRを記録し、2026年には53億7340万米ドルに達すると予測されています COVID-19が世界中で発生したことにより、2020年の初期段階では、半導体計測・検査装置市場のサプライチェーンと生産が大きく混乱しました。半導体メーカーにとって、その影響はより深刻でした。労働力不足のため、世界中の半導体サプライチェーンのプレーヤーの多くが操業を縮小、あるいは停止しています。これにより、半導体に依存している最終製品企業のボトルネックとなっています。

- SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)によると、2019年のシリコンウェーハ面積の出荷量は、2015年の104億3,400万平方インチから増加し、118億1,000万平方インチに達しました。また、2025年には出荷量が17,600百万平方インチに達する可能性があると予測しています。
- さらに、2025年までに、半導体業界は、コネクティビティ、通信、自動車産業、データセンターにおける継続的な開発とイノベーションから大きな恩恵を受けることになります。また、自動車のナビゲーション、安全性、インフォテインメントに使用される電子部品の消費量が増加することも、半導体分野の成長にさらに貢献します。
- 欧州の半導体業界では、より高性能で高速な高密度集積回路への要求の高まりが、製造のあらゆる面での技術的進歩を促しています。
- さらに、APAC地域では、単層測定の存在しないクラスター成膜装置の使用により、多層測定の傾向が強まっており、市場を牽引しています。また、ファブメーカーでは、ウェハの微細化に伴うコストの上昇や検査上の課題から、プロセスモニターをベアウェハからプロダクションウェハに移行しています。
- さらに、SiC(シリコンカーバイド)業界では、検査・計測が重要になっています。これは、SiCデバイスメーカーがファブで100mmウェーハから150mmウェーハへの移行を行ったため、ベンダーが150mmウェーハでの歩留まりや欠陥レベルを見つけることが課題となっていたためです。

主な市場動向

市場で大きな成長が見込まれるリソグラフィ・メトロロジー

- ノードの微細化やウエハーの小型化が進む中、超大規模集積技術のためにウエハーサイズを大きくする需要が増加しており、リソグラフィ計測機器の成長が期待されています。また、ウェハ上に形成されたパターンの寸法を測定するCD-SEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope)は、電子機器の製造ラインの一部として使用されています。現在、CD-SEMは、半導体の製造プロセスに関連して、大きな需要があります。
- 半導体計測・検査装置のベンダーは、小型化やリソグラフィー波長の短縮を実現するために、製品の革新を進めています。例えば、ASML社のEUVリソグラフィでは、波長13.5ナノメートルの光を使用していますが、これは他のリソグラフィソリューションに比べて約14倍の長さです。
- さらに、市場のベンダーは、小型化への要求が高まる業界に対応するため、高度なCD測定技術やサービスの開発を進めています。例えば、2021年6月、MEMS、ナノテクノロジー、半導体市場向けにウェハボンディング装置やリソグラフィ装置を提供しているEVグループ(EVG)は、顧客が大量生産におけるナノインプリントリソグラフィ(NIL)の導入を加速するための新しいサービスであるEVG Step-and-Repeat(S&R) Mastering Shopを発表しました。
- さらに、2021年3月、ASMLとスコットランドのヘリオット・ワット大学は、リソグラフィ・メトロロジー・アプリケーションにおけるレーザーの市場への直接のルートを作るために、新しいレーザーソースを商業化する5年間のパートナーシップに合意しました。

アジア太平洋地域は、市場の大きな成長が期待される

- アジア太平洋地域は、半導体産業の製造および使用において重要な地域の一つです。SIAによると、アジア太平洋地域は最大の半導体市場であり、単一の国としては中国が最大の市場です。
- この地域では、多くの企業が半導体計測・検査装置市場での協力関係やパートナーシップを結んでいます。例えば、2021年7月、中国のチップ製造ツールメーカーであるShenzhen JT Automation Equipment社は、Huawei社のHiSilicon Technologies事業との間で、法的拘束力のある5年間の覚書を発表しました。両社は、半導体パッケージツール開発のパートナーシップを拡大し、自給自足の規制された産業を作ることを目指しています。
- この地域では、半導体計測・検査装置市場の開発と革新が進んでいます。例えば、2020年11月、株式会社日立ハイテクは、高速欠陥レビューSEM*1「CR7300」を発表しました。CR7300」は、半導体デバイス製造の生産性向上に貢献するレビューSEMの新機種です。電子光学系を採用し、最高の高解像度画像の取得を可能にしました。同時に、先進のイメージングシステムとステージシステムにより、従来の半分の時間で高速画像取得が可能となり、総検査時間を大幅に短縮します。
- さらにキヤノンは、2020年10月に、製造・検査をサポートするi-line1ステッパー半導体露光装置のラインアップの最新作「FPA-3030i5a」の発売を発表しています。半導体露光装置「FPA-3030i5a」は、8インチ以下の小型基板の処理に対応しています。また、シリコンウェハーや、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)などの化合物半導体材料にも対応しています。

競合状況

半導体検査装置市場は、地域的にも世界的にもかなりの数のプレイヤーが存在し、緩やかに推移しています。革新的な製品の提供が市場を牽引しており、各ベンダーは革新的な技術に投資しています。

- 2021年6月 - KLA Corporationは、自動車用半導体の計測・検査に向けた4つの新製品を発表しました。その中には、高生産性パターン付きウェハ検査システム「8935」、広帯域プラズマパターン付きウェハ検査システム「C205」、アンパターン付きウェハ検査システム「Surfscan SP A2/A3」、インライン欠陥部品平均検査スクリーニングソリューション「I-PAT」が含まれています。
- 2021年4月 - アプライド マテリアルズは、新しいチップテクノロジーの発見、開発、商業展開を加速するプラットフォーム「AIx」を発表しました。AIxは、エンジニアが半導体プロセスをリアルタイムに把握し、ウェハや個々のチップで何百万もの測定を行い、何千ものプロセス変数を最適化することで、半導体の性能、消費電力、面積コスト、市場投入までの時間(PPACt)を改善します。AIxプラットフォームは、アプライド マテリアルズのすべてのプロセス装置、電子ビーム計測システム、検査システムに対応しており、ラボから工場への拡張が可能です。

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目次

1 はじめに
1.1 調査の前提条件と市場の定義
1.2 調査の範囲

2 調査方法

3 エグゼクティブサマリー

4 市場に関する考察
4.1 市場の概要
4.2 業界の魅力 - ポーターのファイブフォース分析
4.2.1 サプライヤーのバーゲニングパワー
4.2.2 バイヤーのバーゲニング・パワー
4.2.3 新規参入者の脅威
4.2.4 競合他社の脅威
4.2.5 競合他社との競争の激しさ
4.3 Covid-19の市場への影響評価

5 市場力学
5.1 市場ドライバー
5.1.1 高性能で低コストの半導体に対する需要の高まり
5.1.2 民生用電子機器における半導体ウェハーの需要の増加
5.2 市場の阻害要因
5.2.1 セットアップコストの高さと、計測システムを効率的に扱うための専門知識の不足

6 市場区分
6.1 タイプ別
6.1.1 リソグラフィ計測機器
6.1.1.1 オーバーレイ
6.1.1.2 寸法機器
6.1.1.3 マスク検査・計測装置
6.1.2 ウェーハ検査
6.1.3 薄膜計測装置
6.1.4 その他のプロセスコントロールシステム
6.2 地域別
6.2.1 北アメリカ
6.2.2 欧州
6.2.3 アジア太平洋地域
6.2.4 世界の残りの地域

7 競争状況
7.1 会社概要
7.1.1 KLAコーポレーション
7.1.2 アプライド マテリアルズ株式会社
7.1.3 Onto Innovation Inc.(ルドルフ・テクノロジーズ・インク)
7.1.4 サーモフィッシャーサイエンティフィック社(Thermo Fisher Scientific Inc.
7.1.5 株式会社日立ハイテクノロジーズ
7.1.6 ノバ・メジャリング・インスツルメンツ社
7.1.7 ASML ホールディング NV
7.1.8 レーザーテック株式会社
7.1.9 日本電子株式会社
7.1.10 Nikon Metrology NV
7.1.11 Camtek Limited

8 投資分析

9 市場の将来性

 

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Summary

The Semiconductor Metrology and Inspection Equipment market was valued at USD 4,164.7 million in 2020, and it is expected to reach USD 5,373.4 million by 2026, registering a CAGR of 4.76%, during the period of 2021-2026 The outbreak of the COVID-19 across the globe has significantly disrupted the supply chain and production of the Semiconductor Metrology and Inspection Equipment market in the initial phase of 2020. For semiconductor manufacturers, the impact was more severe. Due to labor shortages, many of the players in the semiconductor supply chain across the world have reduced or even suspended operations. This has created a bottleneck for end-product companies that depend on semiconductors.​

- According to the Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), silicon wafer area shipments, in 2019, reached 11,810 million square inches, increased from 10,434 million square inches in 2015. It also projected that the shipments could reach 17,600 million square inches by 2025.
- Additionally, By 2025, the semiconductor industry will experience significant benefits from the ongoing development and innovation in connectivity, communications, the automotive industry, and data centers. In addition, the increase in the consumption of electronic components used in the navigation of automobiles, safety, and infotainment further contributes to the growth of the semiconductor sector.
- In the European semiconductor industry, the increasing demand for a denser integrated circuit with higher performance and higher speeds is driving the technological advances in all facets of manufacturing.
- Moreover, in the APAC region, the trend toward the multiple layer measurement is increasing due to the use of cluster deposition systems, where the lack of existence of single layer measurement is driving the market. Also, the fab manufacturers are shifting process monitors from bare wafers to production wafers due to higher cost and inspection challenges faced by the miniaturization of wafers.
- Furthermore, Inspection and Metrology are becoming critical in the silicon carbide (SiC) industry, as SiC device manufacturers made a transition from 100 mm to 150 mm wafers in a fab that posed challenges for vendors to find yields and defects levels in 150 mm wafers.

Key Market Trends

Lithography Metrology Expected to Witness Significant Growth in the Market

- With the continuous transitions, such as miniaturization of nodes and wafer sizes, the growth in demand for increasing wafer sizes for ultra-large-scale integration fabrication technology has fostered the growth of lithography metrology equipment. In addition, a critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM) is used for measuring the dimensions of the patterns formed on the wafer; the device is used as part of the manufacturing lines of electronic devices. Presently, CD-SEM has been witnessing significant demand, owing to the semiconductor production process.
- Semiconductor Metrology and Inspection Equipment vendors are increasingly innovating their offerings to enable miniaturization and reduce lithography wavelength. For instance, ASML's EUV lithography uses light with a wavelength of 13.5 nanometres, declining nearly 14 times that of other enabling lithography solutions.
- Additionally, Market Vendors are increasingly developing advanced CD measurement techniques and services to cater to the increasing demand from the industry to move toward the miniaturization requirements. For instance, In June 2021, EV Group (EVG), a supplier of wafer bonding and lithography equipment for the MEMS, nanotechnology, and semiconductor markets, announced EVG Step-and-Repeat (S&R) Mastering Shop, a new service offering to help customers accelerate the deployment of nanoimprint lithography (NIL) in high-volume manufacturing.
- Furthermore, In March 2021, ASML and Heriot-Watt University in Scotland agreed on a five-year partnership to commercialize new laser sources to create a direct route to market for lasers in lithography metrology applications.

Asia-Pacific Expected to Witness Significant Growth in the Market

- Asia-Pacific is one of the prominent regions for the semiconductor industry in regards to manufacturing and usage. According to SIA, Asia Pacific is the largest regional semiconductor market, and China is the largest single-country market.
- Many companies in the region are entering into collaborations and partnerships in the semiconductor metrology/inspection equipment market. For instance, In July 2021, Shenzhen JT Automation Equipment, a Chinese chip production tool manufacturer, announced a legally binding five-year memorandum of understanding with Huawei's HiSilicon Technologies business. Both firms aim to expand their semiconductor packaging tool development partnership and create a self-sufficient and regulated industry.
- The Region is witnessing with development and innovation in the Semiconductor Metrology and Inspection Equipment Market. For instance, In November 2020, Hitachi High-Tech Corporation announced the high-speed defect review SEM*1 CR7300. The CR7300 is a new model of review SEM that will contribute to the productivity improvement in the manufacturing of semiconductor devices. It is based on electron optics that allow the acquisition of the best high-resolution images. At the same time, advanced imaging and stage systems enable high-speed image acquisition in half of the time compared to conventional methods, significantly reducing total inspection time.
- Further, in October 2020, Canon has announced the launch of the FPA-3030i5a, the newest entry in the company’s lineup of i-line1 stepper semiconductor lithography systems that support the manufacture and inspection. The FPA-3030i5a semiconductor lithography system is designed to process small substrates of 8 inches or less. In addition, it supports silicon wafers and compound semiconductor materials such as SiC (silicon carbide) and GaN (gallium nitride).

Competitive Landscape

The semiconductor metrology inspection equipment market is moderately, with a considerable number of regional and global players. The innovation drives the market in the product offerings, and each vendor is investing in innovation.

- June 2021 - KLA Corporation announced the launch of four new products for automotive semiconductor metrology and inspection. includes the 8935 high productivity patterned wafer inspection system, the C205 broadband plasma patterned wafer inspection system, the Surfscan SP A2/A3 unpatterned wafer inspection systems, and I-PAT inline defect part average testing screening solution.
- April 2021 - Applied Materials, Inc. announced AIx, a platform that accelerates the discovery, development, and commercial deployment of new chip technologies. AIx enables engineers to see into semiconductor processes in real-time, take millions of measurements across wafers and individual chips, and optimize thousands of process variables to improve semiconductor performance, power, area-cost, and time to market (PPACt). The AIx platform works across all Applied Materials process equipment, eBeam metrology systems, and inspection systems and is extendable from lab to fab.

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- The market estimate (ME) sheet in Excel format
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Table of Contents

1 INTRODUCTION
1.1 Study Assumptions and Market Definition
1.2 Scope of the Study

2 RESEARCH METHODOLOGY

3 EXECUTIVE SUMMARY

4 MARKET INSIGHTS
4.1 Market Overview
4.2 Industry Attractiveness - Porter's Five Forces Analysis
4.2.1 Bargaining Power of Suppliers
4.2.2 Bargaining Power of Buyers
4.2.3 Threat of New Entrants
4.2.4 Threat of Substitutes
4.2.5 Intensity of Competitive Rivalry
4.3 Assessment of Impact of Covid-19 on the Market

5 MARKET DYNAMICS
5.1 Market Drivers
5.1.1 Increasing Demand for High Performance, Low-cost Semiconductors
5.1.2 Increasing Demand for Semiconductor Wafers in Consumer Electronics
5.2 Market Restraints
5.2.1 High Setup Cost and Lack of Expertise in Handling Metrology Systems Efficiently

6 MARKET SEGMENTATION
6.1 By Type
6.1.1 Lithography Metrology
6.1.1.1 Overlay
6.1.1.2 Dimension Equipment
6.1.1.3 Mask Inspection and Metrology
6.1.2 Wafer Inspection
6.1.3 Thin Film Metrology
6.1.4 Other Process Control Systems
6.2 By Geography
6.2.1 North America
6.2.2 Europe
6.2.3 Asia Pacific
6.2.4 Rest of the World

7 COMPETITIVE LANDSCAPE
7.1 Company Profiles
7.1.1 KLA Corporation
7.1.2 Applied Materials Inc.
7.1.3 Onto Innovation Inc. (Rudolph Technologies Inc.)
7.1.4 Thermo Fisher Scientific Inc.
7.1.5 Hitachi High-Tech Corporation
7.1.6 Nova Measuring Instruments Ltd
7.1.7 ASML Holding NV
7.1.8 Lasertec Corporation
7.1.9 JEOL Ltd.
7.1.10 Nikon Metrology NV
7.1.11 Camtek Limited

8 INVESTMENT ANALYSIS

9 FUTURE OF THE MARKET

 

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