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ウエハレベルの金属めっき薬品 2022年:半導体製造前工程とアドバンスドパッケージング向け金属化学薬品


WAFER LEVEL METAL PLATING CHEMICALS 2022: FOR FRONT END SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND ADVANCED PACKAGING APPLICATIONS

半導体製造前工程とアドバンストパッケージング向け金属化学品市場 半導体デバイス製造に使用される金属化学品の市場調査およびサプライチェーン分析レポート この調査レポートは半導体製造材料とし... もっと見る

 

 

出版社 出版年月 電子版価格 ページ数 図表数 言語
Techcet
テクセット社
2022年9月13日 US$8,900
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112 73 英語

 

サマリー

半導体製造前工程とアドバンストパッケージング向け金属化学品市場
半導体デバイス製造に使用される金属化学品の市場調査およびサプライチェーン分析レポート

この調査レポートは半導体製造材料として使用される金属化学薬品市場を調査し、技術や市場動向などを解説しています。

アドバンスドパッケージング(ウェハレベル)と半導体デバイス製造(ダマシンプロセス)に適用される金属化学薬品の市場動向とサプライチェーンに関する情報、また銅めっきや添加剤の予測、市場シェア、技術動向、サプライヤのプロファイルなどを網羅しています。

主な掲載内容

  • アドバンストパッケージング(ウェハレベル)および半導体デバイス製造(ダマシンプロセス)に適用される金属化学品市場の動向とサプライチェーンをカバー。
  • 銅めっきや添加剤の予測、市場シェア、技術動向、サプライヤープロファイルなど。付録には、アドバンストパッケージングに使用されるめっき製品に関する公開情報のサプライヤー製品比較表も含む。
  • TECHCET のデータベースとシニアアナリストの経験によるデータおよび分析、ならびに一次および二次市場調査から作成された情報を含む。

(目次より抜粋)

  1. エグゼクティブサマリー
  2. 調査範囲、目的、メソドロジー
  3. 半導体産業の市場展望
  4. セグメント別金属化学薬品市場
  5. 技術動向
  6. 競争環境
  7. アナリストの評価
  8. サプライヤープロファイル
  9. 付録A:パッケージング技術動向
調査方法
TECHCETは、分析対象となる業界において実体験を持つ専門家を採用しています。TECHCETのアナリストの多くは、各分野で25年以上の直接的な経験を有しており、ICメーカーとそのサプライヤーの商業・技術担当者を調査し、現在および将来の市場環境とグローバルな供給リスクを把握するために、文献や商業統計の広範な調査を実施しています。これらのデータをTECHCET独自の定量的なウェハ予測と組み合わせることで、様々なプロセス材料の長期的な市場予測を実現しています。

 

 



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目次

目次

1 エグゼクティブサマリー 8
1.1 エグゼクティブサマリー 9
1.2 先進的なウェハー当たりパッケージングの開始 10
1.3 デバイス需要促進要因 - ロジック 11
1.4 ダマシン(Fe)とアドバンスト・パッケージング向け銅めっきの予測 12
1.5 市場シェア 13
1.6 サプライヤーの活動 - 各種発表 14
1.7 リスク要因 15
1.8 アナリストによる評価 16

2 範囲、目的、方法論 17
2.1 範囲 18
2.2 目的 19
2.3 方法論 20
2.4 テクセットの他のcmr™レポートの概要 21

3 半導体産業市場の現状と展望 22
3.1 世界経済 23
3.1.1 半導体産業と世界経済との関係 25
3.1.2 半導体売上高の伸び 26
3.1.3 台湾の月次販売動向 27
3.1.4 特に2023年に向けての不確実性-半導体売上高の伸び悩みとマイナス成長を予想 28
3.2 電子機器市場 29
3.2.1 スマートフォン 30
3.2.2 PC出荷台数 31
3.2.2.1 電気自動車(EV)市場動向 32
3.2.2.2 自動車向け半導体の含有量増加 33
3.2.3 サーバー/IT市場 34
3.3 半導体製造の成長・拡大 35
3.3.1 ファブ拡張の発表概要 36
3.3.2 半導体工場の拡大が成長を牽引 37
3.3.3 設備投資動向 38
3.3.4 技術ロードマップ 39
3.3.5 ファブ投資評価 40
3.4 政策・貿易の動向と影響 41
3.4.1 政策と貿易の問題 42
3.5 半導体材料の展望 43
3.5.1 材料容量がチップ生産スケジュールを制限する可能性は?44
3.5.2 欧米諸国を悩ませる継続的なロジスティクス問題 45
3.5.3 2026年までのテクセットのウエハースタイルの予測 46
3.5.3.1 テックセットのウェーハスタートモデリング方法 47
3.5.4 テクセットの材料予測 48

4 メタル化学品のセグメント別市場 49
4.1 定義 50
4.1.1 定義、続き 51
4.2 金属めっき薬品市場の概要 52
4.2.1 概要 - 先進パッケージングとダマシン・メタライゼーション 53
4.2.2 概要 - めっき市場の過渡期の動向 54
4.3 先進パッケージングメタライゼーション - 市場促進要因 55
4.3.1 先進パッケージング-銅めっき収益用添加剤 56
4.3.2 先進パッケージング-銅薬品の売上高 57
4.3.3 先進パッケージング添加剤数量 58
4.3.4 先進パッケージング向けその他のめっき材料 59
4.3.5 スナップ/スナッグメッキ 60
4.3.5.1 ワイヤー・ニッケルめっきの市場予測 61
4.4 ダマスクラインの成長トレンド 62
4.4.1 ダマセンの成長ドライバー 63
4.4.2 ダマシンの銅めっきの売上高 64
4.4.3 ダマシンの添加剤量 65

5 技術動向 66
5.1 パッケージング技術動向 67
5.1.1 パッケージング技術上の課題 68
5.2 技術動向 69
5.2.1 市場が牽引する技術トレンド 70
5.2.2 アドバンストロジック配線の技術進化 71
5.2.2.1 トレンド - MOL と BEOL のロードマップ 72
5.2.3 CU ダマシンの認定要件 73
5.2.4 ロジック・メタライゼーション・ロードマップ 74
5.2.4.1 先進ロジック用インターコネクト 75
5.2.5 アドバンスドロジックの埋設パワーレール 76
5.2.6 技術ロードマップ。Mo または ru を用いたドラマ 77
5.2.6.1 先進的なドラマの一般的なプロセスフロー 78
5.2.7 プリカーサ技術ロードマップ: Mo または ru を用いた 3D NAND 79
5.2.7.1 2020-2025 年の3D-NAND の世代 80
5.2.8 ロジックプロセスフローの例 20nm~32nm ロジック PVD 81
5.2.8 技術的要求事項のまとめ 1/2 82
5.2.8.1 技術的要求事項のまとめ 2/2 83

6 競争環境 84
6.1 アドバンストパッケージングとダマシンの総市場シェア 85
6.2 OEM市場シェア-めっき装置 86
6.3 アプリケーション別市場シェア - 先進パッケージ用銅めっき 87
6.4 地域プレイヤー、その他 88
6.5 M&A活動 89

7 アナリストによる評価 90
7.1 先端金属めっきアプリケーション市場評価 91

8 サプライヤープロファイル 90

BASF
デュポン
チャン・チュン グループ
インチョンケミカルカンパニー
イシハラケミカル/ユニコンJXニッポン
鉱業・金属など

9 付録A:パッケージング技術動向 152

 



図リスト

図1: アドバンストパッケージングとデバイス Cu インターコネクト用メッキ材料の売上高 (百万ドル) 9
図2: アドバンスドパッケージングアプリケーション(単位:百万ウエハ) 10
図3: 先端ロジックデバイスの成長予測 11
図4: アドバンストパッケージングとFE/ダマセンの銅めっき薬品売上高($m's) 12
図5: 2022年先端パッケージングと半導体デバイス製造の合計メッキ市場シェア 13
図6: 世界経済と電子機器サプライチェーン(2021年) 25
図7: 世界の半導体売上高 26
図8: テクセットの台湾半導体産業指数* 27
図9: 2022 年半導体産業売上高成長率予測 28
図10: 2023 年半導体産業売上高成長率予測 28
図11: 半導体チップのアプリケーション 29
図12: 携帯電話出荷台数の世界予測 30
図13: PC とタブレットの世界予測、2021 年、第 3 四半期 31
図14:世界のEVトレンド 32
図15:車種別半導体投資額 33
図 16: アリゾナ州の TSMC 建設現場 35
図 17: チップ拡張 2021-2026 > US$460 b 36
図 18:世界の半導体チップ製造地域 37
図 19: 3 ヶ月平均の半導体製造装置出荷額 38
図 20:デバイス技術ロードマップの概要 39
図 21: 欧州におけるチップの拡大傾向 44
図 22: ノード別テクセットウェハスタート予測 46
図 23: テックセット材料予測 48
図 24: パッケージング用メタライゼーションアプリケーション 50
図25: シリコンインターポーザーの使用 51
図26: TSVのバージョンとプロセスフロー例 51
図 27: 先進パッケージングとデバイス CU インターコネクト用めっき材料売上(百万ドル) 52
図 28: 銅めっき薬品の 5 年間の予測 53
図 29: アドバンスドパッケージングアプリケーション(単位:百万ウエハ) 55
図 30: 銅めっきアドバンストパッケージング収益予測 56
図 31: 銅ピラー&銅 RDL セグメント別予測 57
図 32: アドバンストパッケージング パッケージング CU/VMS 量的需要予測 58
図33: アドバンスドパッケージング パッケージング銅メッキ添加剤体積需要予測 58
図34: 銅ピラーを用いた材料スタック(40 um ピッチ未満) 59
図35: スネア・スナッグめっきの売上高 60
図36: ニッケルめっきの売上高 61
図37: アドバンストロジックデバイスの成長予測 62
図38: アドバンスドロジックの金属めっきウェーハパス 63
図39: ダマシンめっきの収益予測 64
図40: ダマシン銅メッキの数量需要予測 65
図41: ダマシンの Cu めっき添加剤化学物質体積需要予測 65
図42: アドバンスドパッケージングの主要トレンド 67
図43: 電気メッキビアフィルの課題 68
図44:論理ノードあたりのメタルレベル 70
図45: 抵抗率によるインターコネクトメタル比較 71
図46:CU ダマシンの認定 73
図47:最先端のロジック・パワーレール・スキーム 76
図48:Dram 構造 77
図49:3D ナンド構造 79
図50: アドバンストパッケージングと半導体デバイス製造のための総めっき 2022 パッケージングと半導体デバイス製造のめっき総量 85
図51: めっき装置 OEM 市場シェア 2020% 86
図52: ダマスクラインとアドバンストパッケージング用途のめっき薬品サプライヤー 87
図53:洗浄の複雑さ 94
図54: オサットパッケージングビジネスのカニバリゼーション傾向 96
図55: ウェハレベルめっき 97
図56: アドバンスドパッケージング市場のドライバーとアプリケーション 98
図57:ダマシン型RDLとの比較 100
図58:シリコンインターポーザーの使用 101
図59:リンゴ型インターポーザーの例 102
図60:TSV プロセスフローの例 103

表リスト

表1: 世界のGDPと半導体売上高* 23
表2:IMF の経済見通し* 24
表3:データセンターシステムと通信サービス予測 2021年 34
表4: 2022 年ロジックコアインターコネクトロードマップ 72
表5: 金属製ロジックデバイスロードマップ 74
表6: デバイスの特徴に必要な金属 75
表7: モリブデンのドラマ使用状況(現在・未来) 77
表8: ドラマの一般的なプロセスフロー 78
表9: 3D-NAND材料の変化と未来 79
表10: 3dNand の世代ごとのスタック数(S)とレイヤー数(L) 80
表11: ロジックプロセスフローの例 20nm~32nm ロジック PVD 81
表12: 技術的要求事項の概要 1/2 83
表13: 技術的要求事項の概要 2/2 83
表14:地域別プレーヤー:マーケットリーダー、その他 88
表15:CU パッケージングアプリケーションと要件 105

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プレスリリース

半導体金属めっき化学品の収益は2023年に鈍化
2023年6月27日プレスリリース

相互接続層とアドバンストパッケージング用途の増加により成長が回復
カリフォルニア州サンディエゴ発
半導体サプライチェーンに関するビジネスと技術情報を提供する電子材料アドバイザリー会社TECHCETは、
半導体金属めっき用化学薬品の市場が2023年に9億8,700万米ドルに達すると予測、これは前年比2%減少である。

この減少予測は、全体的なウェーハスタート量の予想が低下したことによるものである。更には、2020年から2021年にかけての材料の過剰購入とその後の市場内の在庫調整の影響を受ける可能性がある。2023年の金属めっき薬品セグメントにおける最大の売上を予測するのは銅で、銅アドバンスドパッケージング配線に3億7300万ドル、相互接続用の銅めっきに6億1400万ドルが見込まれる。

現在の減速にもかかわらず、TECHCETの金属化学物質重要材料レポート「ウエハレベルの金属めっき薬品 2022年:半導体製造前工程とアドバンスドパッケージング向け金属化学薬品」の新しい四半期最新情報によると、2022-2027年の全体的なCAGRは、アドバンスドパッケージングでプラス3.7%、相互接続用金属めっき薬品でプラス3.3%と予想されている。

Plating Materials for Advanced Packaging and Device Cu Interconnect Revenues

現在の経済環境により、半導体デバイス全体の生産量は、少なくとも2023年第2四半期末まで減少する可能性が高い。しかし、電気自動車、より高速な充電ステーション、より強力なデータストレージ、及び、より多くのアプリケーションに使用されるデバイスの需要増加で、今後数年間は高密度で低消費電力のデバイスが生産されると予想される。同時に、米国のチップ法および欧州と中国による同様の投資が、こうした開発を後押しするだろう。これにより、金属相互接続層とアドバンストパッケージングの使用が増加し、金属化学めっき市場の成長が回復するはずである。

TECHCETは、ルテニウム(Ru)またはモリブデン(Mo)(またはバナジウム(V)またはイリジウム(Ir))の導入など、GAAノードの最小相互接続寸法でタンタル(Ta)およびコバルト(Co)バリア層に取って代わる可能性のある金属成膜の新技術を追っている。RuまたはMo(ALDまたはCVD、メッキではない)は、アドバンスト・ロジック用のM0~M2金属層間の相互接続とビアを充填する可能性がある。また裏面パワーレールへのウェーハ裏面接続では、銅(Cu)めっきが追加され、M8~M14層で失われた銅めっきと同等かそれ以上になる可能性がある。

 

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Summary

Metal Chemicals for FE & Advanced Packaging Market Report
Market Research & Supply-Chain Analysis Report on Metal Chemicals used for Semiconductor Device Manufacturing

  • Provides focused information on metal chemicals market trends and supply-chain as it applied to advanced packaging (wafer level) and semiconductor device manufacturing (damascene process).
  • Covers information about forecasts for copper plating and additives, market shares, technical trends, and supplier profiles.

Main contents

  1. EXECUTIVE SUMMARY
  2. SCOPE, PURPOSE AND METHODOLOGY
  3. SEMICONDUCTOR INDUSTRY MARKET OUTLOOK
  4. METAL CHEMICALS MARKET BY SEGMENT
  5. TECHNICAL TRENDS
  6. COMPETITIVE LANDSCAPE
  7. ANALYST ASSESSMENT
  8. SUPPLIER PROFILES
  9. APPENDIX A: PACKAGING TECH TRENDS

SCOPE

  • This report covers the Metal Chemicals market trends and supply-chain as it applied to Advanced Packaging (wafer level) and Semiconductor Device Manufacturing (damascene process).
  • Included are forecasts for copper plating and additives, market shares, technical trends, and supplier profiles. Also included in the appendix is a supplier product comparison table of publicly available information on plating products used for advanced packaging.
  • The report contains data and analysis from TECHCET’s data base and Sr. Analyst experience, as well as that developed from primary and secondary market research.

PURPOSE

  • This Critical Materials Report™ (CMR) provides focused information for supply-chain managers, process integration and R&D directors, as well as business development managers, and financial analysts. The report covers information about key suppliers, issues/trends in the material supply chain, estimates on supplier market share, and forecast for the material segments.
  • Providing current information and actionable content is the intent of the information contained within this report and the quarterly updates.
  • As important as the supply side of the equations is the demand requirements of the market in terms of the economic variables, leading edge technology requirements and the wafer start forecast.


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Table of Contents

Table of Contents

TECHCET-CMR-MetalChems-CMC-091322LS

1 EXECUTIVE SUMMARY 8
1.1 EXECUTIVE SUMMARY 9
1.2 ADVANCED PACKAGING PER WAFER STARTS 10
1.3 DEVICE DEMAND DRIVERS - LOGIC 11
1.4 CU PLATING FORECAST FOR DAMASCENE (FE) AND ADVANCED PACKAGING 12
1.5 MARKET SHARES 13
1.6 SUPPLIER ACTIVITIES – VARIOUS ANNOUNCEMENTS 14
1.7 RISK FACTORS 15
1.8 ANALYST ASSESSMENT 16

2 SCOPE, PURPOSE AND METHODOLOGY 17
2.1 SCOPE 18
2.2 PURPOSE 19
2.3 METHODOLOGY 20
2.4 OVERVIEW OF OTHER TECHCET CMR™ REPORTS 21

3 SEMICONDUCTOR INDUSTRY MARKET STATUS & OUTLOOK 22
3.1 WORLDWIDE ECONOMY 23
3.1.1 SEMICONDUCTOR INDUSTRIES TIES TO THE GLOBAL ECONOMY 25
3.1.2 SEMICONDUCTOR SALES GROWTH 26
3.1.3 TAIWAN MONTHLY SALES TRENDS 27
3.1.4 UNCERTAINTY ABOUNDS ESPECIALLY FOR 2023 – SLOWER TO NEGATIVE SEMI REVENUE GROWTH EXPECTED 28
3.2 ELECTRONIC GOODS MARKET 29
3.2.1 SMARTPHONES 30
3.2.2 PC UNIT SHIPMENTS 31
3.2.2.1 ELECTRIC VEHICLE (EV) MARKET TRENDS 32
3.2.2.2 INCREASE IN SEMICONDUCTOR CONTENT FOR AUTOS 33
3.2.3 SERVERS / IT MARKET 34
3.3 SEMICONDUCTOR FABRICATION GROWTH & EXPANSION 35
3.3.1 FAB EXPANSION ANNOUNCEMENT SUMMARY 36
3.3.2 WW FAB EXPANSION DRIVING GROWTH 37
3.3.3 EQUIPMENT SPENDING TRENDS 38
3.3.4 TECHNOLOGY ROADMAPS 39
3.3.5 FAB INVESTMENT ASSESSMENT 40
3.4 POLICY & TRADE TRENDS AND IMPACT 41
3.4.1 POLICY AND TRADE ISSUES 42
3.5 SEMICONDUCTOR MATERIALS OUTLOOK 43
3.5.1 COULD MATERIALS CAPACITY LIMIT CHIP PRODUCTION SCHEDULES? 44
3.5.2 CONTINUED LOGISTICS ISSUES PLAGUE THE WESTERN WORLD 45
3.5.3 TECHCET WAFER STARTS FORECAST THROUGH 2026 46
3.5.3.1 TECHCET WAFER START MODELING METHODOLOGY 47
3.5.4 TECHCET’S MATERIAL FORECAST 48

4 METAL CHEMICALS MARKET BY SEGMENT 49
4.1 DEFINITIONS 50
4.1.1 DEFINITIONS, CONTINUED 51
4.2 METAL PLATING CHEMICALS MARKET OVERVIEW 52
4.2.1 OVERVIEW - ADVANCED PACKAGING AND DAMASCENE METALLIZATION 53
4.2.2 OVERVIEW - PLATING MARKET TRANSITIONAL TRENDS 54
4.3 ADVANCED PACKAGING METALLIZATION – MARKET DRIVERS 55
4.3.1 ADVANCED PACKAGING - ADDITIVES FOR CU PLATING REVENUE 56
4.3.2 ADVANCED PACKAGING – COPPER CHEMICALS REVENUE 57
4.3.3 ADVANCED PACKAGING ADDITIVE VOLUMES 58
4.3.4 OTHER PLATING MATERIALS FOR ADVANCED PACKAGING 59
4.3.5 SN / SNAG PLATING 60
4.3.5.1 WW NI PLATING MARKET FORECAST 61
4.4 DAMASCENE GROWTH TRENDS 62
4.4.1 DAMASCENE GROWTH DRIVERS 63
4.4.2 DAMASCENE CU PLATING REVENUES 64
4.4.3 DAMASCENE ADDITIVE VOLUMES 65

5 TECHNICAL TRENDS 66
5.1 PACKAGING TECH TRENDS 67
5.1.1 PACKAGING TECHNICAL CHALLENGES 68
5.2 TECH TRENDS 69
5.2.1 MARKET DRIVES TECHNOLOGY TRENDS 70
5.2.2 ADV LOGIC INTERCONNECT WIRING TECHNOLOGY EVOLUTION 71
5.2.2.1 TRENDS - MOL AND BEOL IRDS ROADMAP 72
5.2.3 CU DAMASCENE QUALIFICATION REQUIREMENTS 73
5.2.4 LOGIC METALLIZATION ROADMAP 74
5.2.4.1 INTERCONNECT FOR ADVANCED LOGIC 75
5.2.5 ADV LOGIC BURIED POWER RAIL 76
5.2.6 TECHNOLOGY ROADMAP: DRAM WITH MO OR RU 77
5.2.6.1 GENERAL PROCESS FLOW ADVANCED DRAM 78
5.2.7 PRECURSOR TECHNOLOGY ROADMAP: 3D NAND USING MO OR RU 79
5.2.7.1 3D-NAND GENERATIONS 2020 -2025 80
5.2.8 EXAMPLE OF LOGIC PROCESS FLOW 20 NM TO 32 NM LOGIC PVD 81
5.2.8 TECHNICAL REQUIREMENTS SUMMARY 1/2 82
5.2.8.1 TECHNICAL REQUIREMENTS SUMMARY 2/2 83

6 COMPETITIVE LANDSCAPE 84
6.1 TOTAL ADVANCED PACKAGING AND DAMASCENE MARKET SHARES 85
6.2 OEM MARKET SHARE– PLATING EQUIPMENT 86
6.3 MARKET SHARE BY APPLICATION – CU PLATING FOR ADVANCED PACKAGING 87
6.4 REGIONAL PLAYERS AND OTHERS 88
6.5 M&A ACTIVITY 89

7 ANALYST ASSESSMENT 90
7.1 ADVANCED METAL PLATING APPLICATIONS MARKET ASSESSMENT91

8 SUPPLIER PROFILES 90

BASF
DUPONT
CHANG CHUN GROUP
INCHEON CHEMICAL COMPANY
ISHIHARA CHEMICAL/UNICON JX NIPPON
MINING AND METALS AND MORE..

9 APPENDIX A: PACKAGING TECH TRENDS 152


FIGURES

FIGURE 1: PLATING MATERIALS FOR ADVANCED PACKAGING AND DEVICE CU INTERCONNECT REVENUES ($M’S) 9
FIGURE 2: ADVANCED PACKAGING APPLICATIONS IN MILLIONS OF WAFERS 10
FIGURE 3: ADVANCED LOGIC DEVICES GROWTH FORECAST 11
FIGURE 4: COPPER PLATING CHEMICALS REVENUES ($M’S) FOR ADVANCED PACKAGING & FE/DAMASCENE 12
FIGURE 5: TOTAL PLATING MARKET SHARES FOR ADVANCED PACKAGING AND SEMICONDUCTOR DEVICE MFG. 2022 13
FIGURE 6: GLOBAL ECONOMY AND THE ELECTRONICS SUPPLY CHAIN (2021) 25
FIGURE 7: WORLDWIDE SEMICONDUCTOR SALES 26
FIGURE 8: TECHCET’S TAIWAN SEMICONDUCTOR INDUSTRY INDEX* 27
FIGURE 9: 2022 SEMICONDUCTOR INDUSTRY REVENUE GROWTH FORECASTS 28
FIGURE 10: 2023 SEMICONDUCTOR INDUSTRY REVENUE GROWTH FORECASTS 28
FIGURE 11: SEMICONDUCTOR CHIP APPLICATIONS 29
FIGURE 12: MOBILE PHONE SHIPMENTS WW ESTIMATES 30
FIGURE 13: WORLDWIDE PC AND TABLET FORECAST, 2021, Q3 31
FIGURE 14: GLOBAL EV TRENDS 32
FIGURE 15: SEMICONDUCTOR SPEND PER VEHICLE TYPE 33
FIGURE 16: TSMC CONSTRUCTION SITE IN ARIZONA 35
FIGURE 17: CHIP EXPANSIONS 2021-2026 > US$460 B 36
FIGURE 18: SEMICONDUCTOR CHIP MANUFACTURING REGIONS OF THE WORLD 37
FIGURE 19: 3-MONTH AVERAGE SEMICONDUCTOR EQUIPMENT BILLINGS 38
FIGURE 20: OVERVIEW OF DEVICE TECHNOLOGY ROADMAP 39
FIGURE 21: EUROPE CHIP EXPANSION UPSIDE 44
FIGURE 22: TECHCET WAFER START FORECAST BY NODE 46
FIGURE 23: TECHCET MATERIALS FORECAST 48
FIGURE 24: PACKAGING METALLIZATION APPLICATIONS 50
FIGURE 25: USE OF SILICON INTERPOSER 51
FIGURE 26: VERSIONS OF TSV & PROCESS FLOW EXAMPLE 51
FIGURE 27: PLATING MATERIALS FOR ADVANCED PACKAGING AND DEVICE CU INTERCONNECT REVENUES ($M’S) 52
FIGURE 28: CU PLATING CHEMICALS 5-YEAR FORECAST 53
FIGURE 29: ADVANCED PACKAGING APPLICATIONS IN MILLIONS OF WAFERS 55
FIGURE 30: CU PLATING ADVANCED PACKAGING REVENUE FORECAST ESTIMATES 56
FIGURE 31: CU PILLAR & CU RDL SEGMENTED FORECAST 57
FIGURE 32: ADV. PACKAGING CU/VMS VOLUME DEMAND FORECAST 58
FIGURE 33: ADV. PACKAGING CU PLATING ADDITIVES VOLUME DEMAND FORECAST 58
FIGURE 34: MATERIALS STACK USING CU PILLAR (< 40 UM PITCH) 59
FIGURE 35: SN AND SNAG PLATING REVENUE 60
FIGURE 36: NICKEL PLATING REVENUE 61
FIGURE 37: ADVANCED LOGIC DEVICES GROWTH FORECAST 62
FIGURE 38: ADV LOGIC METAL PLATING WAFER PASSES 63
FIGURE 39: WW DAMASCENE REVENUE FORECAST ESTIMATES 64
FIGURE 40: DAMASCENE CU VMS VOLUME DEMAND FORECAST ESTIMATES 65
FIGURE 41: DAMASCENE CU PLATING ADDITIVES CHEMICAL VOLUME DEMAND FORECAST 65
FIGURE 42: KEY TRENDS IN ADVANCED PACKAGING 67
FIGURE 43: CHALLENGES OF ELECTROPLATING VIA FILL 68
FIGURE 44: METAL LEVELS PER LOGIC NODE 70
FIGURE 45: INTERCONNECT METAL COMPARISON BY RESISTIVITY 71
FIGURE 46: CU DAMASCENE QUALIFICATION 73
FIGURE 47: LEADING EDGE LOGIC POWER RAIL SCHEMES 76
FIGURE 48: DRAM STRUCTURE 77
FIGURE 49: 3D NAND STRUCTURE 79
FIGURE 50: TOTAL PLATING FOR ADV. PACKAGING AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING 2022 85
FIGURE 51: PLATING EQUIPMENT OEM MARKET SHARES 2020% 86
FIGURE 52: PLATING CHEMICAL SUPPLIER FOR DAMASCENE AND ADVANCED PACKAGING APPLICATIONS 87
FIGURE 53: CLEANING COMPLEXITY 94
FIGURE 54: OSATS PACKAGING BUSINESS CANNIBALIZATION TREND 96
FIGURE 55: WAFER LEVEL PLATING 97
FIGURE 56: ADVANCED PACKAGING MARKET DRIVERS AND APPLICATIONS 98
FIGURE 57: COMPARISON WITH DAMASCENE- TYPE RDL 100
FIGURE 58: USE OF SILICON INTERPOSER 101
FIGURE 59: APPLE EXAMPLE INTERPOSERS 102
FIGURE 60: TSV PROCESS FLOW EXAMPLE 103

TABLES

TABLE 1: GLOBAL GDP AND SEMICONDUCTOR REVENUES* 23
TABLE 2: IMF ECONOMIC OUTLOOK* 24
TABLE 3: DATA CENTER SYSTEMS AND COMMUNICATION SERVICES FORECAST 2021 34
TABLE 4: IRDS 2022 LOGIC CORE INTERCONNECT ROADMAP 72
TABLE 5: LOGIC DEVICE ROADMAP FOR METALS 74
TABLE 6: METALS REQUIRED FOR DEVICE FEATURES 75
TABLE 7: DRAM USE OF MO OR RU PRESENT & FUTURE 77
TABLE 8: GENERAL PROCESS FLOW ADVANCED DRAM 78
TABLE 9: 3D NAND MATERIAL CHANGES PRESENT & FUTURE 79
TABLE 10: NUMBER OF STACKS (S) & LAYERS (L) PER GENERATION OF 3DNAND 80
TABLE 11: EXAMPLE OF LOGIC PROCESS FLOW 20 NM TO 32 NM LOGIC PVD 81
TABLE 12: TECHNICAL REQUIREMENTS SUMMARY 1/2 83
TABLE 13: TECHNICAL REQUIREMENTS SUMMARY 2/2 83
TABLE 14: REGIONAL PLAYERS – MARKET LEADER AND “OTHERS” 88
TABLE 15: CU PACKAGING APPLICATIONS AND REQUIREMENTS 105

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Press Release

Semiconductor Metal Plating Chemicals Revenues Slowing in 2023
June 27, 2023

Increases in Interconnect Layers and Advanced Packaging Use to Revamp Growth
San Diego, CA, June 27, 2023:  TECHCET — the electronic materials advisory firm providing business and technology information on semiconductor supply chains — is estimating that the market for Semiconductor Metal Plating Chemicals will reach US$987M in 2023, a 2% decrease from 2022. The decrease in the 2023 forecast is due to lower expectations for the amount of overall wafer starts. Additionally, the decline may be influenced by the overbuying of materials in 2020-2021 and subsequent inventory corrections within the market. The largest revenue within the 2023 metal plating chemicals segment is forecasted for copper, with $373M for copper advanced packaging wiring, and $614M for interconnect copper plating. Despite the current slowdown, the overall 2022-2027 CAGR is expected to be a positive 3.7% for advanced packaging and 3.3% for interconnect metal chemicals, as highlighted in TECHCET’s new Quarterly Update to the Metal Chemicals Critical Material Report.


Plating Materials for Advanced Packaging and Device Cu Interconnect Revenues

Current economic environments will likely cause overall semiconductor device production to be reduced until at least the end of 2Q 2023. However, demand for more devices used for electric cars, faster charging stations, stronger data storage, and more applications, are expected to produce higher density and lower power devices in the coming years. Simultaneously, the US Chips Act and similar investments by Europe and China will push these developments along. This will drive increases in metal interconnect layers and advanced packaging use, which should revamp growth in the metal chemical plating market.

TECHCET is following new technologies for metal deposition, such as the introduction of Ruthenium (Ru) or Molybdenum (Mo) (or Vanadium (V) or Iridium (Ir)) to possibly displace the Tantalum (Ta) & Cobalt (Co) barrier layers at the smallest interconnect dimensions for the GAA nodes. Ru or Mo (ALD or CVD, not plating) will possibly fill the interconnects & vias between M0 to M2 metal layers for Advanced Logic. Possible wafer backside connections to the backside power rail will add Copper (Cu) plating to possibly match or exceed the Cu plating lost at the M8-M14 layers.

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