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レポート名	フォトリソグラフィ装置の世界市場レポート 2023年以下を含む1) プロセス別1）プロセス別：深紫外（DUV）；極端紫外（EUV）；I線；フッ化クリプトン（KrF）；フッ化アルゴン（ArF）ドライ2）波長別：370nm270nm；270nm170nm；70nm1nm3）光源別：水銀ランプ；フッ素レーザー；エキシマレーザー；レーザープラズマ4）用途別：水銀ランプ；フッ素レーザー；エキシマレーザー；レーザープラズマ水銀ランプ；フッ素レーザー；エキシマレーザー；レーザープラズマ4) 用途別：フロントエンド；バックエンド5) エンドユーザー別：集積デバイスメーカー（IDM）；ファウンドリーCovering：サムスン電子（Samsung Electronics Co.Ltd.、Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited、Canon Inc.、Applied Materials Inc.、ASML Holding NV
出版社名	The Business Research Company　(TBRC)
出版月	2023年9月
価格	US$ 4,000
URL	https://www.dri.co.jp/auto/report/tbrc/230927-photolithography-equipment-global-market.html
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